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CF4氣體分析儀

簡(jiǎn)要描述:GASERA ONE多氣體分析儀基于激光光聲光譜技術(shù),擁有探測(cè)器和光源,廣泛應(yīng)用于科研、工業(yè)和其他領(lǐng)域;其中探測(cè)器是超高靈敏度的增強(qiáng)型懸臂梁光學(xué)麥克風(fēng)技術(shù)。CF4氣體廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、環(huán)境監(jiān)測(cè)及工業(yè)安全等領(lǐng)域。光聲光譜技術(shù)通過(guò)檢測(cè)氣體吸收光能后產(chǎn)生的聲信號(hào),實(shí)現(xiàn)高靈敏度、高穩(wěn)定性的CF4濃度測(cè)量。

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CF4氣體分析儀GASERA ONE 概述

GASERA ONE多氣體分析儀基于激光光聲光譜技術(shù),擁有探測(cè)器和光源,廣泛應(yīng)用于科研、工業(yè)和其他領(lǐng)域;其中探測(cè)器是超高靈敏度的增強(qiáng)型懸臂梁光學(xué)麥克風(fēng)技術(shù)。

CF4氣體廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、環(huán)境監(jiān)測(cè)及工業(yè)安全等領(lǐng)域。光聲光譜技術(shù)通過(guò)檢測(cè)氣體吸收光能后產(chǎn)生的聲信號(hào),實(shí)現(xiàn)高靈敏度、高穩(wěn)定性的CF4濃度測(cè)量。


CF4氣體分析儀GASERA ONE-解決方案

通過(guò)選擇最佳的光源類型,GASERA ONE適合多種應(yīng)用需求;

對(duì)于更復(fù)雜的測(cè)量方案,幾個(gè)GASERA ONE可聯(lián)用為應(yīng)用提供一個(gè)簡(jiǎn)單解決方案。


CF4氣體分析儀GASERA ONE-操作

GASERA ONE為用戶提供了一個(gè)簡(jiǎn)單而直觀的高分辨率顯示器和控制按鈕。此外,用戶可以通過(guò)智能手機(jī),平板電腦或其它設(shè)備控制GASERA ONE。


CF4氣體分析儀GASERA ONE-技術(shù)

工作原理:激光光聲光譜

超靈敏MEMS懸臂梁傳感器光學(xué)麥克風(fēng),耦合激光干涉儀測(cè)量懸臂梁微量位移

根據(jù)應(yīng)用需求配置光源,如靈敏度和氣體成分種類

合適的光源包括可調(diào)諧半導(dǎo)體激光器(TDL),量子級(jí),聯(lián)激光器(QCL),外腔式量子級(jí)聯(lián)激光器(EC-QCL),帶間級(jí)聯(lián)激光器,(ICL),光學(xué)參量振蕩器 (OPO),帶濾光片的寬帶紅外光源(NDIR)

氣室恒定溫度50℃


CF4氣體分析儀GASERA ONE-通用

19"3 U工業(yè)機(jī)箱,適用于全部臺(tái)式或機(jī)架固定安裝

尺寸:48.4cm W x 13.9cm H x 44cm D(19.1 In W x 5.5 in H x 17.3 in D)

重量:約13kg

內(nèi)置7"前置顯示器的嵌入式計(jì)算機(jī)

數(shù)據(jù)存儲(chǔ)容量足夠至少1年的連續(xù)監(jiān)測(cè)

總采氣量:10~30ml

后面板有四路氣體接口,兩路為采樣接口,配有粉塵顆粒物過(guò)濾器

供電:

輸入電壓:100~240VAC,50~60 Hz

輸入功率:100~200 W(根據(jù)具體要求而定)

通訊接口:Ethernet、USB

GASERA ONE可以通過(guò)智能手機(jī),平板電腦,筆記本 電腦或另一個(gè)GASERA ONE來(lái)操作


CF4氣體分析儀GASERA ONE-環(huán)境

工作條件:

溫度范圍:0℃~ + 40℃

濕度:低于90%RH,無(wú)凝露

壓力范圍:大氣壓

防護(hù)等級(jí):IP20(IEC 529)

儲(chǔ)存條件:

溫度范圍:-20℃~ + 60℃

采樣條件:

溫度:0~ + 49℃

濕度:無(wú)凝露

氣體流量:約1L/min

壓力:930mbar~1100mbar

微粒< 1μm


CF4氣體分析儀GASERA ONE-檢測(cè)參數(shù)

響應(yīng)時(shí)間:根據(jù)通道積分時(shí)間(C.I.T.)和氣體 置換周期,典型從5秒到幾分鐘

檢測(cè)限:0.1ppb

動(dòng)態(tài)量程:典型5級(jí)(100,000倍檢測(cè)限)

重復(fù)性:小于1%的測(cè)量值,在工作條件標(biāo)準(zhǔn)濃 度下

準(zhǔn)確度:取決于校準(zhǔn)濃度標(biāo)準(zhǔn)氣體的精度,典型2~5 %

溫度穩(wěn)定性:在溫度工作范圍內(nèi)無(wú)影響

壓力穩(wěn)定性:在壓力工作范圍內(nèi)無(wú)影響


















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